真空.破壞單元 VQD1000-V系列
●應答速度  13msec(500mm時※)/18.5msec(1000mm時※) ※從單元到工作物的距離 ●無破真空過衝現象,可平順地將工作物離脫    破壞空氣不會吹飛工作物。 ●不需要調整真空・正壓的切換時間(單動信號控制) ●破壞空氣不需要節流迴路 ●N.O.規格(非通電時、 真空吸著型)、  N.C.規格(非通電時、 真空遮斷型)可做選擇 VQD1000-V (0.73mb)
真空產生器 破壞流路無潤滑脂規格 ZK2-X215系列
● 防止因破壞空氣對工作物的潤滑脂飛散 ZK2-X215 (1.58mb)
真空產生器 ZK2-X188/-X211系列
˙供給閥:N.O.規格 ˙附省能源功能 真空產生器 ˙空氣消耗量 90%削減 ZK2 系列 (2.97mb)
鋁製 高真空L型閥 XLS Series
電磁式 伸縮囊壓力平衡 XLS Series (0.32mb)
鋁製 高真空L型閥 XLH Series
手動/伸縮囊密封 XLH Series (0.29mb)
鋁製 高真空L型閥 XLD・XLDV Series
二段控制・單動/伸縮囊密封・O型環密封 XLD・XLDV Series (0.48mb)
鋁製 高真空L型閥 XLG・XLGV Series
氣控型/附電磁閥 XLG Series (0.36mb)
鋁製 高真空L型閥 XLC・XLCV Series
氣控型/附電磁閥 XLC・XLCV 系列 (0.36mb)
真空無桿缸 CYV系列
• 真空環境內可作為搬送使用的氣壓缸 CYV (0.78mb)
平行密封型閘閥 XGTP系列
● 對應300mm晶圓 ● 長壽命:300萬次(常溫時) ● 發塵量:1/5以下降低(既有品比) ● 維修性 ● 安全對策 ● 省空氣(訂製品) ● 輕量 ● 與舊本體有互換性 XGTP (4.86mb)

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